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書籍情報
本書は，プローブとして電子・イオンを送り込んだ場合の応答から対象物についてどんな情報が得られるかをまとめた．実際に材料分析に使ってみようと挑戦心を湧かせるような記述となっている． |
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| JME材料科学 |
電子・イオンを用いた材料分析法入門
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| A5／188頁 定価（本体2000円＋税） 978-4-7536-5204-4
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| 入戸野修（工学博士）／小林睦弘（工学博士） 編訳 |
 目 次 |
第1章 イオンビームを用いた材料表面層と薄膜の分析法
はじめに／分析法の基礎概念／分析装置の共通事項／分析法／分析法の比較／結論／SELF-TEST 1／ANSWER&STUDY 1
第2章 オージェ電子分光法入門
はじめに／コアーレベルのイオン化／オージェ緩和過程／特性電子放出／脱出深さλ(E)／オージェスペクトル表示／エネルギーの測定／実験例の紹介／SELF-TEST 2／ANSWER&STUDY 2
第3章 低速イオン散乱分光法入門
はじめに／原理／古典力学の妥当性／熱効果と2体衝突近似／散乱イオンのエネルギーとターゲット原子の質量との関係／散乱イオン収量に及ぼす因子／装置／試料室と試料保持台／イオン源とイオンビーム／エネルギー分析器／典型的なスペクトル／単原子層検出感度／構造に関する情報／アイソトープ検出／深さ分析／化学結合の情報／分解能／他の因子／まとめ／SELF-TEST 3／ANSWER&STUDY 3
第4章 材料科学と電子顕微鏡法
はじめに／半導体への応用／金属学への応用／放射線損傷／その場研究／おわりに
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書籍サポート情報 
