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プラズマ基礎工学


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書籍情報
本書はプラズマ実験の入門書である.プラズマ諸量の定義,生成法,診断法などのプラズマの実験に最低必要な基礎的事項を豊富な図と実例でわかりやすくまとめている.プローブ法について詳述している点は本書の特徴のひとつである.
プラズマ基礎工学
増補版
A5/296頁 定価(本体3800円+税) 978-4-7536-5042-2
堤井信力(工学博士) 著

目 次
第1章 序論―プラズマの基礎量
1. プラズマ研究の歴史/2. プラズマの定義と種類/3. プラズマの温度と密度/4. デバイ長とプラズマ角周波数/5. イオン鞘と浮動電位
第2章 プラズマの生成
1. 序論-電離の方法とプラズマの生成/2. 放電によるプラズマの生成/3. 熱電離によるプラズマの生成/4. 光電離によるプラズマの生成/5. 真空技術/6. 新しいプロセスプラズマの生成
第3章 プラズマの診断1―プローブ法
1. 序論-プラズマ診断の意味と診断法の分類/2. ラングミュアプローブ/3. 連続媒質プラズマ中におけるプローブ測定/4. ダブルプローブ法/5. トリプルプローブ法/6. プローブによるプラズマ空間電位の決定/7. 磁界中におけるプローブ法/8. 反応性プラズマ中におけるプローブ法/9. その他のプローブ法/10. プローブ法の実際の使用時における諸問題/11. プロセスプラズマのプローブ計測
第4章 プラズマの診断2―マイクロ波法
1. 序論-プラズマ中における電磁波の伝播/2. 自由空間透過法によるプラズマの測定/3. 反射法によるプラズマの測定/4. 空胴共振器法/5. その他の測定法
第5章 プラズマの診断3―光計測法
1. 光学的方法によるプラズマの測定/2. 干渉法による密度の測定/3. トムソン散乱による温度の測定/4. スペクトル線幅によるプラズマの測定/5. スペクトル線強度比による温度の測定/6. 吸収法によるプラズマの測定/7. 線反転法によるプラズマ温度の測定/8. 自己吸収法による準安定粒子密度の測定/9. プロセス用プラズマのラジカル計測
第6章 実用プラズマの諸特性
1. プラズマの応用-気体レーザとプラズマプロセッシング/2. 炭酸ガスレーザのためのCO2混合ガスプラズマ/3. PCVDのためのシラン混合ガスプラズマ



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