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書籍情報
本書はプラズマの応用研究に携わる方を対象に，実験研究に必要となる知識を平易に解説．プラズマの応用をわかりやすくするため，内容を粒子間衝突を主とする気相空間での反応に関する部分と，固体表面での相互作用を主とする固相反応に関する部分とに分け記述している． |
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プラズマ気相反応工学
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| A5／256頁 定価（本体3800円＋税） 978-4-7536-5047-7
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| 堤井信力（工学博士）／小野 茂（工学博士） 著 |
 目 次 |
第1章 序論 プラズマの反応基礎過程
1. プラズマ気相反応とは？／2. プラズマ粒子の弾性衝突過程／3. プラズマ粒子の非弾性衝突過程
第2章 プラズマの生成と制御1 理論と実際
1. 放電中におけるエネルギーの伝達過程とプラズマ諸量の形成／2. 定常状態におけるプラズマパラメータの制御／3. 非定常状態におけるプラズマパラメータの制御
第3章 プラズマの生成と制御2 新しいプラズマの発生法
1. 放電によるプラズマの生成／2. 低圧高密度プラズマの生成と大口径化／3. 大気圧非平衡プラズマの生成と効率化／4. 熱プラズマ応用装置
第4章 プラズマの診断1 分光法の原理と方法
1. プラズマ分光法の基礎的事項／2. 発光励起種の測定／3. 非発光励起種の測定
第5章 プラズマの診断2 非発光ラジカル種の新しい計測法
1. レーザの進歩と計測法の発展／2. レーザ吸収法／3. レーザ誘起蛍光法(LIF)／4. その他の測定法
第6章 プラズマの診断3 分光器の原理と実際
1. 分光器の原理と基本構成／2. 分光器使用の実際／3. 分光計測のトラブル対策
第7章 プラズマ気相反応を用いた各種応用
1. 広がるプラズマ応用／2. 環境技術におけるプラズマ応用
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