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書籍情報
主に準安定相である未知の物質を薄膜合成で実現する研究にはまだ未踏の領域がある．準安定相といってもすぐに化学変化してしまう短寿命のものからガラスのようにきわめて安定なものまで様々であり新物質・新物性発見の余地を残す．本書は筆者が携わってきた新物質合成の分野に関わる基礎的な内容を分かりやすくまとめた書である． |
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| 物質・材料テキストシリーズ |
機能性薄膜材料の合成と物性
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| A5／204頁 定価（本体3800円＋税） 978-4-7536-2326-6
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| 福村知昭（博士（工学）） 著 |
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 目 次 |
第1章 はじめに
第2章 薄膜材料の合成法
2.1 物理蒸着法
2.1.1 真空蒸着法
2.1.2 分子線エピタキシー法
2.1.3 スパッタ法
2.1.4 パルスレーザー堆積法
2.2 化学蒸着法
2.2.1 化学気相成長法
2.2.2 原子層堆積法
2.2.3 固相エピタキシー法
2.2.4 トポタクティック法
2.3 その他の手法
2.3.1 コンビナトリアル合成
2.4 薄膜成長のための基板
2.4.1 基板の種類
2.4.2 単結晶基板
2.4.3 基板の前処理
2.5 作製パラメータ
2.5.1 基板の加熱と成長温度
2.5.2 供給ガス
2.5.3 投入エネルギー
2.5.4 膜厚
2.5.5 バッファー層
2.5.6 その他
第3章 薄膜材料の評価
3.1 基本的な特性の評価
3.1.1 膜厚測定
3.1.2 結晶構造
3.1.3 組成分析
3.1.4 表面分析
3.2 物性の評価
3.2.1 電気特性
3.2.2 磁気特性
3.2.3 磁気伝導特性
3.2.4 光学特性
3.2.5 磁気光学特性
3.2.6 走査型プローブ顕微鏡
3.2.7 放射光測定
3.2.8 ハイスループットスクリーニング
3.3 薄膜では困難な評価
第4章 薄膜で制御できる構造・物性
4.1 薄膜で安定化する準安定相
4.2 計算科学による物質の構造・電子状態の予測
4.3 ドーピング
4.4 格子歪
4.5 価数
4.6 混合アニオン化
4.7 副格子の変調
4.8 ヘテロ構造
第5章 新薄膜材料の合成と機能
5.1 組成傾斜薄膜
5.2 遷移金属ドープ酸化物半導体
5.3 希土類単酸化物
5.4 ニクトゲン正方格子をもつ層状酸化物
5.5 酸化物ヘテロ構造
第6章 おわりに
付表
付表1
付表2
付表3
付表4
事項索引
物質名索引
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