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イオンビームによる物質分析・物質改質


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書籍情報
本書は既刊「イオンビーム工学 イオン・固体相互作用編」の姉妹書である.イオンビームによる物質分析,イオンビームを用いたイオン注入を始めとする物質改質および薄膜形成等の応用技術を示す.
イオンビームによる物質分析・物質改質
A5/360頁 定価(本体6800円+税) 978-4-7536-5033-0
藤本文範(理学博士)/小牧研一郎(理学博士) 編

森田健治/小牧研一郎/八木栄一/石井慶造/尾浦憲治郎/田村一二三/小林紘一/平尾 孝/岩木正哉/三宅 潔/山田 公/緒方 潔/蒲生健次 著

目 次
1 イオンビーム物質分析
1. RBS(ラザフォード後方散乱分光法)
2. ERD(反跳原子検出法)
3. NRD(核反応検出法)
4. PIXE
5. ISS(ICISS)
6. SIMS
7. AMS
2 イオンビーム物質改質
1. イオン注入技術
2. イオン注入による表層改質
3. イオンビームデポジション
4. クラスターイオンビーム技術
5. ダイナミックミキシング―イオンビーム蒸着法による固体表面改質および薄膜形成
6. イオンビーム加工



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