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薄膜物性入門


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書籍情報
応用範囲の極めて広い薄膜について,その作製法から性質・応用までを幅広くまとめる.
薄膜物性入門
A5/400頁 定価(本体6000円+税) 978-4-7536-5031-6
井上泰宣/鎌田喜一郎/濱崎勝義 訳/L. Eckertová 著

目 次
第1章 緒  言
第2章 薄膜の作製法
1. 化学的および電気化学的方法/2. 真空蒸着/3. 陰極スパッタリングおよびイオンを用いる他の方法/4. マスク法,微細加工および薄膜のプロセシング
第3章 薄膜の膜厚および蒸着速度の測定方法
1. 天秤法/2. 電気的方法/3. 光学的方法/4. 運動量移行を利用した膜生成速度の測定/5. 特殊な膜厚の測定法
第4章 薄膜の形成機構
1. 薄膜の形成過程/2. 核形成/3. 島の成長と合体/4. 膜の最終的な構造に与える種々の因子の影響/5. 薄膜の結晶構造/6. エピタキシャル膜
第5章 薄膜の分析
1. 薄膜分析用電子顕微鏡法/2. 電子回折/3. X線法/4. 電子線を用いる分析法/5. イオンビーム法/6. 光を用いる方法
第6章 薄膜の性質
1. 機械的性質/2. 薄膜の電磁気的性質/3. 薄膜の光学的性質
第7章 薄膜の応用
1. 機械的性質の応用/2. エレクトロニクス,および超小型エレクトロニクスへの応用/3. 光学,光エレクトロニクス,光集積回路への応用



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